纳米技术 碳纳米管探针扫描显微术 大深宽比微纳结构测量

Nanotechnology—Carbon nanotube probe scanning microscopy—Measurement of high aspect ratio micro-nano structures

GB/T 48076-2026推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
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GB/T 16857.5-2017产品几何技术规范(GPS) 坐标测量机的验收检测和复检检测 第5部分:使用单探针或多探针接触式探测系统的坐标测量机现行2018-05-01找相似
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GB/T 33523.605-2022产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第605部分:非接触(点自动对焦探针)式仪器的标称特性现行2023-04-01找相似