| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 43916-2024 | 真空技术 真空计 电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度 | 现行 | 2024-04-25 | 2024-04-25 |
| GB/T 42604-2023 | 真空技术 真空计 热阴极电离真空计规范 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-05-23 |
| GB/T 40333-2021 | 真空计 四极质谱仪的定义与规范 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-12-01 |
| GB/T 45856-2025 | 真空技术 真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度 | 现行 | 2025-08-01 | 2025-11-01 |
| GB/T 46081-2025 | 真空技术 真空计 磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度 | 现行 | 2025-08-29 | 2025-08-29 |
| GB/T 30434-2013 | 电阻真空计通用技术条件 | 现行 | 2013-12-31 | 2014-08-01 |
| T/GVS 005-2022 (2) | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | 2022-03-28 |
| T/BEA 43008-2024 | （10-1~10-7）Pa真空计现场校准规范 | 现行 | 2024-09-10 | 2024-09-18 |
| T/GVS 005-2022 | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | 2022-03-28 |
| JJF 1962-2022 | 磁悬浮转子真空计校准规范 | 现行 | 2022-04-29 | 2022-10-29 |
| JJF 1062-2022 | 电离真空计校准规范 | 现行 | 2022-04-29 | 2022-10-29 |
| JJG 2022-2009 | 真空计量器具 | 现行 | 2009-07-30 | 2010-01-30 |
| JB/T 7463-1994 | 热阴极电离真空计技术条件 | 废止 | 1994-09-08 | 1995-07-01 |
| JB/T 6873-1993 | 热偶真空计 技术条件 | 废止 | 1993-07-09 | 1994-01-01 |
| T/CGMA 0601-2021 | 便携式真空计校准装置 | 现行 | 2021-09-30 | 2021-11-01 |
| JJG 932-1998 | 压阻真空计 | 现行 | 1998-05-14 | 1998-10-01 |
| JJF 1503-2015 | 电容薄膜真空计校准规范 | 现行 | 2015-01-30 | 2015-04-30 |
| JJF 1050-2023 | 工业用热传导真空计校准规范 | 现行 | 2023-06-30 | 2023-12-30 |