半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范

Technical specification for maglev self-bearing clean pump for semiconductor applications

GB/T 47926-2026推荐性国家标准

即将实施

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GB/T 47926-2026 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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