300mm硅片表面纳米形貌的评价方法

Practice methods for nanotopography of 300 mm silicon wafer surface

GB/T 47906-2026推荐性国家标准

即将实施

上传时间:2026-07-25
格式:pdf

GB/T 47906-2026 相似标准 第8页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
T/SCGS 313009-2024磁纳米粒子成像影像数据库质量评价规范现行2024-04-162024-04-17
T/SCGS 313004-2023磁纳米粒子成像设备成像质量检测与评价规范现行2023-08-042023-08-05
T/CESA 1092-2020碳纳米管制造业绿色工厂评价要求现行2020-06-202020-06-20
YY/T 0993-2015医疗器械生物学评价纳米材料:体外细胞毒性试验(MTT试验和LDH试验)现行2015-03-022016-01-01
YY/T 1897-2023纳米医疗器械生物学评价 遗传毒性试验 体外哺乳动物细胞微核试验现行2023-06-202024-07-01
YY/T 1295-2015医疗器械生物学评价纳米材料:细菌内毒素试验现行2015-03-022016-01-01
YY/T 1953-2026纳米医疗器械生物学评价 抗菌性能试验即将实施2026-03-092027-03-01
GB/T 42470-2023纳米技术 基于斑马鱼胚胎的纳米材料毒性评价现行2023-03-172023-10-01
T/CAS 472-2021等离子纳米分散技术及气相分散评价现行2021-02-052021-02-05
T/CESA 1092-2020碳纳米管制造业绿色工厂评价要求现行2020-06-202020-06-20
T/NAHIEM 40-2021纳米银及其制品抗菌除味性能评价现行2021-09-242021-09-24
GB/T 22458-2008仪器化纳米压入试验方法通则现行2008-10-292009-05-01
GB/T 20307-2006纳米级长度的扫描电镜测量方法通则现行2006-07-192007-02-01
GB/T 28973-2012番茄环斑病毒检疫鉴定方法纳米颗粒增敏胶体金免疫层析法现行2012-12-312013-06-01
GB/T 28872-2012活细胞样品纳米结构的磁驱动轻敲模式原子力显微镜检测方法现行2012-11-052013-02-15
GB/T 29856-2013半导体性单壁碳纳米管的近红外光致发光光谱表征方法现行2013-11-122014-04-15
GB/T 27765-2011SiO2、TiO2、Fe3O4及Al2O3纳米颗粒生物效应的透射电子显微镜检测方法现行2011-12-302012-05-01
SN/T 2518-2010贝类食品中食源性病毒检测方法纳米磁珠-基因芯片法现行2010-03-022010-09-16