微机电系统(MEMS)技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片

Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—MEMS silicon piezoresistive pressure and temperature composite pressure sensor chip

GB/T 47562-2026推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
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