| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/GVS 005-2022 (2) | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | 2022-03-28 |
| T/BEA 43008-2024 | （10-1~10-7）Pa真空计现场校准规范 | 现行 | 2024-09-10 | 2024-09-18 |
| T/GVS 005-2022 | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | 2022-03-28 |
| JJF 1962-2022 | 磁悬浮转子真空计校准规范 | 现行 | 2022-04-29 | 2022-10-29 |
| JJF 1062-2022 | 电离真空计校准规范 | 现行 | 2022-04-29 | 2022-10-29 |
| JJG 159-2022 | 双活塞式压力真空计 | 现行 | 2022-04-29 | 2022-10-29 |
| JB/T 7463-1994 | 热阴极电离真空计技术条件 | 废止 | 1994-09-08 | 1995-07-01 |
| JB/T 6873-1993 | 热偶真空计 技术条件 | 废止 | 1993-07-09 | 1994-01-01 |
| T/CGMA 0601-2021 | 便携式真空计校准装置 | 现行 | 2021-09-30 | 2021-11-01 |
| JB/T 15418-2026 | 活塞式压力真空计 | 即将实施 | 2026-04-28 | 2026-11-02 |
| JJG 932-1998 | 压阻真空计 | 现行 | 1998-05-14 | 1998-10-01 |
| JJG 51-2003 | 带平衡液柱活塞式压力真空计 | 现行 | 2003-03-05 | 2003-09-01 |
| JJG 236-2009 | 活塞式压力真空计 | 现行 | 2009-07-30 | 2010-01-30 |
| JJF 1503-2015 | 电容薄膜真空计校准规范 | 现行 | 2015-01-30 | 2015-04-30 |
| JJF 1050-2023 | 工业用热传导真空计校准规范 | 现行 | 2023-06-30 | 2023-12-30 |