200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片

本标准规定了200mm重掺磷直拉硅单晶抛光片的术语和定义、产品分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存、订货单（或合同）内容和质量承诺。本标准适用于以电子级多晶硅为主要原材料，采用直拉法制备的直径为200mm的硅单晶抛光片。产品主要用于集成电路、分立器件用外延片的衬底。

本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制定。 本标准主要起草单位：浙江金瑞泓科技股份有限公司。 本标准参与起草单位：金瑞泓科技（衢州）有限公司。