硅抛光片表面颗粒测试方法

Test method of particles on silicon wafer surfaces

GB/T 19921-2005推荐性国家标准

废止

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更新日期:2026-08-08

标准状态

发布日期

2005-09-19

实施日期

2006-04-01

基础信息

标准分类

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040.01

标准层级

国家标准

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