主要技术内容
本文件描述了电感耦合等离子体质谱法测定碳化硅晶片表面金属元素含量的方法。本文件适用于碳化硅单晶抛光片和碳化硅外延片表面痕量金属钠、铝、钾、钙、钪、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、银、钨、金、汞等元素含量的测定，测定范围为108 cm-2～1012 cm-2。本文件适用于100 mm(4吋)～200 mm(8吋)碳化硅原生晶片、碳化硅退火片等无图形碳化硅晶片表面痕量金属元素含量的测定。注： 碳化硅晶片表面的金属元素含量以每平方厘米的原子数计。
Test method for the content of metal elements on the surface of silicon carbide wafer—Inductively coupled plasma mass spectrometry
现行
2023-06-19
2023-06-19
T/CASAS 032-2023
北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
否
31-030
C398 电子元件及电子专用材料制造
团体标准
本文件描述了电感耦合等离子体质谱法测定碳化硅晶片表面金属元素含量的方法。本文件适用于碳化硅单晶抛光片和碳化硅外延片表面痕量金属钠、铝、钾、钙、钪、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、银、钨、金、汞等元素含量的测定，测定范围为108 cm-2～1012 cm-2。本文件适用于100 mm(4吋)～200 mm(8吋)碳化硅原生晶片、碳化硅退火片等无图形碳化硅晶片表面痕量金属元素含量的测定。注： 碳化硅晶片表面的金属元素含量以每平方厘米的原子数计。
山东大学、广州南砂晶圆半导体技术有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、广东天域半导体股份有限公司、泰科天润半导体科技（北京）有限公司、杭州海乾半导体有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、中国科学院半导体研究所、中电化合物半导体有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
崔潆心、陈秀芳、谢雪健、杨祥龙、徐现刚、来玲玲、于国建、冯淦、丁雄杰、秋琪、林云昊、赵海明、钮应喜、金向军、徐瑞鹏
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| DZ/T 0064.80-1993 | 地下水质检验方法--等离子体质谱法测定锂等39个元素 | 现行 | 1993-12-09 | 1994-10-01 |
| SN/T 2698-2010 | 钨制品中杂质元素分析 电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2010-11-01 | 2011-05-01 |
| YS/T 1539-2022 | 铝基氮化硼粉末中氮化硼含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2022-09-30 | 2023-04-01 |
| T/HNNMIA 78-2023 | 铁矿石 镓含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2023-12-29 | 2023-12-31 |
| DB63/T 1823-2020 | 土壤中有效硅的测定柠檬酸浸提 电感耦合等离子体发射光谱法 | 现行 | 2020-08-11 | 2020-09-01 |
| SJ/T 11378-2008 | 等离子体显示器件 第3-1部分：机械接口 | 现行 | 2008-03-10 | 2008-03-10 |
| GB/T 34826-2017 | 四极杆电感耦合等离子体质谱仪性能的测定方法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| DZ/T 0064.42-1993 | 地下水质检验方法 感耦等离子体原子 测定锶、钡 | 现行 | 1993-02-27 | 1993-10-01 |
| LS/T 6136-2019 | 粮油检测 大米中锰、铜、锌、铷、锶、镉、铅的测定 快速提取-电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2019-06-06 | 2019-12-06 |
| GB/T 7731.8-2008 | 钨铁 锑含量的测定 罗丹明B光度法和电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2008-08-19 | 2009-04-01 |
| T/GRM 042-2022 | 岩矿土壤 钾同位素测定 多接收电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2022-03-31 | 2022-04-10 |
| GB/T 24520-2009 | 铸铁和低合金钢 镧、铈和镁含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-05-01 |
| GB/T 17593.2-2007 | 纺织品 重金属的测定 第2部分: 电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2007-12-05 | 2008-09-01 |
| NB/SH/T 0864-2013 | 润滑脂中金属元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 | 现行 | 2013-06-08 | 2013-10-01 |
| GB/T 6730.76-2017 | 铁矿石 钾、钠、钒、铜、锌、铅、铬、镍、钴含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 | 现行 | 2017-10-14 | 2018-07-01 |
| GB/T 13372-2025 | 二氧化铀粉末和芯块中杂质元素测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2025-10-05 | 2025-10-05 |
| YS/T 1085-2015 | 精炼镍 硅、锰、磷、铁、铜、钴、镁、铝、锌、铬含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| SN/T 0750-1999 | 进出口碳钢、低合金钢中铅、砷、铬、钴、铜、磷、锰、钼、硅、锡、钛、钒含量的测定－－电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP－AES） | 现行 | 1999-05-05 | 1999-08-01 |
| GB/T 26193-2010 | 玩具材料中可迁移元素锑、砷、钡、镉、铬、铅、汞、硒的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2011-01-14 | 2011-06-01 |
| DB63/T 1821-2020 | 铁矿石中磁铁的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 | 现行 | 2020-08-11 | 2020-09-01 |
| T/CAIA SH012-2020 | 稻米 镉的测定 等离子体固样直接分析 发射光谱法 | 现行 | 2020-12-25 | 2021-01-31 |
| YB/T 4174.1-2022 | 硅钙合金分析方法 第1部分：铝含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2022-09-30 | 2023-04-01 |
| GB/T 22181.1-2008 | 等离子体显示器件 第1部分 术语与文字符号 | 现行 | 2008-06-28 | 2008-11-01 |
| SN/T 2484-2010 | 精油中砷、钡、铋、镉、铬、汞、铅、锑含量的测定方法 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2010-03-02 | 2010-09-16 |
| GB/T 42248-2022 | 土壤、水系沉积物 碘、溴含量的测定 半熔-电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2022-12-30 | 2023-04-01 |
| T/AHSX 4-2023 | 饲用天然植物 洋槐花粗提物 | 现行 | 2023-06-20 | 2023-06-30 |