感应耦合等离子体发生器校准规范

Calibration specification for inductively coupled plasma generator

T/BEA 40001-2022其他标准

现行

标准状态

发布日期

2022-01-18

实施日期

2022-02-09

基础信息

标准号

T/BEA 40001-2022

团体名称

北京电子仪器行业协会

标准分类

标准层级

团体标准

主要技术内容

本标准适用于真空环境下使用的新制造(或新购置)和修理后的感应耦合等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。

起草单位

北京东方计量测试研究所

起草人

柴昊、贾军伟、刘民、张书锋、邓星亮

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