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氮化铝抛光片吸收系数测试方法

T/CASAS 054-2025其他标准

现行

更新日期：2026-09-12

标准状态

发布日期

2025-05-20

实施日期

2025-05-20

基础信息

标准号

T/CASAS 054-2025

团体名称

北京第三代半导体产业技术创新战略联盟

标准分类

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件描述了氮化铝（AlN）抛光片光吸收系数的测试方法，包括原理、仪器设备、测试条件、样品、测试步骤、结果计算和测试报告。本文件适用于氮化铝抛光片的光学质量控制和评估。氮化铝外延片可参照使用。

起草单位

中国科学院半导体研究所、奥趋光电技术(杭州)有限公司、北京大学、中国电子科技集团公司第四十六研究所、山东大学、山西中科潞安紫外光电科技有限公司、山西中科潞安半导体技术研究院有限公司、北京大学东莞光电研究院、山东力冠微电子装备有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟

起草人

刘志彬、吴亮、于彤军、程红娟、张雷、徐广源、张童、王新强、宋德鹏、高伟

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