半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)测量方法

Test method for semiconductor equipment reliability, availability and maintainability(RAM)

GB/T 24468-2025 推荐性国家标准

即将实施

标准状态

发布日期

2025-10-05

实施日期

2026-05-01

基础信息

标准号

GB/T 24468-2025

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

L85

国际标准分类号

17.040.30

标准层级

国家标准

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