扫描电子显微镜校准规范

Calibration Specification for Scanning Electronic Microscopes (SEM)

JJF 1916-2021计量规范

现行

标准状态

发布日期

2021-07-28

实施日期

2022-01-28

基础信息

标准号

JJF 1916-2021

批准发布部门

国家市场监督管理总局

技术归口

全国几何量长度计量技术委员会

标准分类

标准层级

计量规范

起草单位

中国计量科学研究院

起草人

李伟、高思田、施玉书

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