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71.100.20 工业气体 第3页

标准号标准名称状态发布日期实施日期
T/DLSHXH 004-2020电子工业用气体 二氧化碳现行2020-09-302020-10-30
T/CCGA 90001-2020氧气和富氧气氛的火灾危险（试行）现行2020-05-082020-05-08
T/SDAS 98-2019计量检测用高纯氮现行2019-12-092019-12-20
T/ZZB 1373-20197N 光电子级超纯氨现行2019-11-272019-12-31
T/CCGA 50004-2019医用二氧化碳现行2019-10-292020-01-29
T/CCGA 50003-2019干冰包装和运输安全技术规程现行2019-10-292020-01-29
T/CCGA 40001-2019液氢现行2019-10-292020-01-29
T/CCGA 30004-2019电子级八氟环丁烷现行2019-10-292020-01-29
T/CCGA 30003-2019超纯三氟化氮现行2019-10-292020-01-29
T/CCGA 30002-2019超纯氧化亚氮现行2019-10-292020-01-29
T/CCGA 30001-2019超纯氨现行2019-10-292020-01-29
T/DLSHXH 003-2018电子级 二乙基锌现行2018-09-182018-09-28
T/DLSHXH 002-2018电子工业用气体 一氧化氮现行2018-09-182018-09-28
T/ICMTIA 1-2019集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范现行2019-04-172019-10-10
T/ICMTIA 3-2020集成电路用六氯乙硅烷现行2020-02-242020-04-24
T/CCGA 70001-2020居家吸氧安全技术要求（试行）现行2020-06-052020-06-05
T/SCS 000008-2021全氧燃烧玻璃窑炉用真空变压吸附供氧系统现行2021-07-072021-07-17
T/NPCA 03-2023EO/EG装置用致稳剂 甲烷氢现行2023-11-282024-01-01
T/DLSHXH 008-2022电子特气 双（二乙基氨基）硅烷现行2022-09-302022-10-20
T/CASMES 181-2023智能变压吸附制氮设备现行2023-09-262023-10-01