首页/GB/T 32816-2016 相似标准

硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process

GB/T 32816-2016推荐性国家标准

现行

上传时间：2026-03-11
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GB/T 32816-2016 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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