Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 14141-2009 | 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| YS/T 15-2015 | 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| YS/T 15-1991 | 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法 | 废止 | 1991-04-26 | 1992-06-01 |
| GB/T 6616-2023 | 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 37152-2018 | 纳米技术 碳纳米管材料 薄层电阻 | 现行 | 2018-12-28 | 2018-12-28 |
| T/CPIA 0100-2024 | 光伏电池用掺杂层薄层方块电阻的测量方法 | 现行 | 2024-12-15 | 2024-12-30 |
| GB/T 6616-2009 | 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法 | 废止 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 47239.6-2026 | 半导体器件 柔性可拉伸半导体器件 第6部分：柔性导电薄膜的薄层电阻测试方法 | 即将实施 | 2026-08-28 | 2027-03-01 |
| SY/T 0531-2012 | 油田注入水悬浮颗粒测定方法 电阻感应法 | 现行 | 2012-01-04 | 2012-03-01 |
| SY/T 0531-1994 | 油田注入水悬浮颗粒测定法 电阻感应法 | 废止 | 1994-04-05 | 1994-10-01 |
| SJ/T 10481-1994 | 硅外延层电阻率的面接触三探针方法 | 现行 | 1994-04-11 | 1994-10-01 |
| SY/T 6338-1997 | 岩石可溶有机物和原油族组分棒薄层火焰离子化分析方法 | 废止 | 1997-12-31 | 1998-07-01 |
| GB/T 25186-2010 | 表面化学分析 二次离子质谱 - 由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子 | 现行 | 2010-09-26 | 2011-08-01 |
| GB/T 15862-2012 | 离子注入机通用规范 | 现行 | 2012-11-05 | 2013-02-15 |
| GB/T 34174-2017 | 表面化学分析 工作参考物质中离子注入产生的驻留面剂量定值的推荐程序 | 现行 | 2017-09-07 | 2018-08-01 |
| YS/T 1371-2020 | 离子注入机用钨材 | 现行 | 2020-12-09 | 2021-04-01 |
| EJ/T 647-1994 | 金属用工业离子注入机 | 现行 | 1994-11-11 | 1995-05-01 |
| SJ/T 12024-2025 | 半导体设备 集成电路制造 用离子注入机测试方法 | 现行 | 2025-09-09 | 2026-03-01 |