硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array

GB/T 14141-2009推荐性国家标准

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GB/T 14141-2009 相似标准 第15页

更新时间 2026-10-25
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