首页/GB/T 34893-2017 相似标准

微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

GB/T 34893-2017推荐性国家标准

现行

上传时间：2026-03-08
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GB/T 34893-2017 相似标准 第7页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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