Vacuum technology—Vacuum gauges—Specifications, calibration and measurement uncertainties for spinning rotor gauges
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 34873-2017 | 真空计 与标准真空计直接比较校准 | 现行 | 2018-05-01 | 找相似 |
| JB/T 6873-2005 | 热偶真空计 | 现行 | 2005-11-01 | 找相似 |
| JB/T 7463-2005 | 热阴极电离真空计 | 现行 | 2005-11-01 | 找相似 |
| JB/T 10075-2013 | 冷阴极电离真空计 | 现行 | 2014-07-01 | 找相似 |
| GB/T 40333-2021 | 真空计 四极质谱仪的定义与规范 | 现行 | 2021-12-01 | 找相似 |
| T/GVS 005-2022 (2) | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | —— |
| T/BEA 43008-2024 | （10-1~10-7）Pa真空计现场校准规范 | 现行 | 2024-09-18 | —— |
| T/GVS 005-2022 | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | —— |
| JJF 1062-2022 | 电离真空计校准规范 | 现行 | 2022-10-29 | 找相似 |
| JJG 159-2022 | 双活塞式压力真空计 | 现行 | 2022-10-29 | 找相似 |
| JJG 2022-2009 | 真空计量器具 | 现行 | 2010-01-30 | 找相似 |
| T/CGMA 0601-2021 | 便携式真空计校准装置 | 现行 | 2021-11-01 | —— |
| JB/T 15418-2026 | 活塞式压力真空计 | 即将实施 | 2026-11-02 | 找相似 |
| JJG 932-1998 | 压阻真空计 | 现行 | 1998-10-01 | 找相似 |
| JJG 51-2003 | 带平衡液柱活塞式压力真空计 | 现行 | 2003-09-01 | 找相似 |
| JJG 236-2009 | 活塞式压力真空计 | 现行 | 2010-01-30 | 找相似 |
| JJF 1503-2015 | 电容薄膜真空计校准规范 | 现行 | 2015-04-30 | 找相似 |
| JJF 1050-2023 | 工业用热传导真空计校准规范 | 现行 | 2023-12-30 | 找相似 |