Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| JB/T 10152-2000 | 碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅板 | 废止 | 2000-01-04 | 2000-06-01 |
| JB/T 8340-1996 | 热电偶用碳化硅保护管 | 废止 | 1996-04-11 | 1996-10-01 |
| DB13/T 5118-2019 | 4H 碳化硅 N 型同质外延片通用技术要求 | 废止 | 2019-11-28 | 2019-12-28 |
| DB61/T 1250-2019 | Sic（碳化硅）材料半导体分立器件通用规范 | 废止 | 2019-06-25 | 2019-07-25 |
| DB34/T 2872-2017 | 机械密封用反应烧结碳化硅陶瓷密封件 | 废止 | 2017-06-30 | 2017-07-30 |
| GB 7327-1987 | 交流系统用碳化硅阀式避雷器 | 废止 | 1987-03-02 | 1987-10-01 |
| GB 11527-1989 | 车间空气中碳化硅粉尘卫生标准 | 废止 | 1989-06-20 | 1990-02-01 |
| GB/T 3045-2003 | 普通磨料 碳化硅化学分析方法 | 废止 | 2003-10-08 | 2004-04-01 |
| GB/T 2480-2008 | 普通磨料 碳化硅 | 废止 | 2008-06-03 | 2009-01-01 |
| GB/T 21944.3-2008 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第3部分：辊棒 | 废止 | 2008-06-03 | 2009-01-01 |
| GB/T 21944.1-2008 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第1部分：方梁 | 废止 | 2008-06-03 | 2009-01-01 |
| GB/T 7327-2008 | 交流系统用碳化硅阀式避雷器 | 废止 | 2008-06-18 | 2009-03-01 |
| GB/T 16555-2008 | 含碳、碳化硅、氮化物耐火材料化学分析方法 | 废止 | 2008-06-26 | 2009-04-01 |
| GB/T 21944.4-2009 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第4部分：烧嘴套 | 废止 | 2009-04-23 | 2009-12-01 |
| GB/T 21944.2-2009 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第2部分：异型梁 | 废止 | 2009-04-23 | 2009-12-01 |
| GB/T 3045-2017 | 普通磨料 碳化硅化学分析方法 | 废止 | 2017-12-29 | 2018-07-01 |
| T/SAS 0008-2020 | 轻量化碳化硅反射镜 | 现行 | 2020-11-20 | 2021-01-01 |
| T/SAS 0009-2020 | 轻量化碳化硅反射镜镜坯 | 现行 | 2020-11-20 | 2021-01-01 |