Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/IAWBS 003-2017 | 碳化硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法 | 现行 | 2017-12-20 | 2017-12-31 |
| T/IAWBS 001-2017 | 碳化硅单晶 | 现行 | 2017-12-20 | 2017-12-31 |
| GB/T 47404-2026 | 碳化硅单晶 | 即将实施 | ||
| JC/T 2402-2017 | 船舶用液相烧结碳化硅陶瓷密封环 | 现行 | 2017-04-12 | 2017-10-01 |
| GB/T 42905-2023 | 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法（外文版EN） | 现行 | 2024-04-12 | |
| JC/T 2783-2023 | 石墨中碳化硅含量的测定方法 | 现行 | 2023-12-20 | 2024-07-01 |
| JC/T 2796-2023 | 碳化硅单晶用高纯石墨粉 | 现行 | 2023-12-20 | 2024-07-01 |
| JC/T 2516-2019 | 砂磨机用反应烧结碳化硅内衬 | 现行 | 2019-05-02 | 2019-11-01 |
| YS/T 1600-2023 | 碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 | 现行 | 2023-04-21 | 2023-11-01 |
| SJ/T 11501-2015 | 碳化硅单晶晶型的测试方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| HG/T 5633-2019 | 列管式碳化硅换热器 | 现行 | 2019-12-24 | 2020-07-01 |
| SJ/T 11500-2015 | 碳化硅单晶晶向的测试方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| GB/T 32278-2015 | 碳化硅单晶片平整度测试方法 | 废止 | 2015-12-10 | 2017-01-01 |
| GB/T 30866-2014 | 碳化硅单晶片直径测试方法 | 废止 | 2014-07-24 | 2015-02-01 |
| GB/T 30867-2014 | 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法 | 废止 | 2014-07-24 | 2015-02-01 |
| GB/T 30868-2014 | 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法 | 废止 | 2014-07-24 | 2015-02-01 |
| SJ/T 11499-2015 | 碳化硅单晶电学性能的测试方法 | 废止 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| JB/T 10988-2010 | 碳化硅特种制品本 反应烧结碳化硅 脱硫喷嘴 | 废止 | 2010-02-21 | 2010-07-01 |