碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法

Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics

GB/T 43313-2023推荐性国家标准

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GB/T 43313-2023 相似标准 第13页

更新时间 2026-10-25
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