微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS

GB/T 42897-2023推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-03-03
格式:pdf

GB/T 42897-2023 相似标准 第11页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 40279-2021硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法现行2021-08-202022-03-01
GB/T 17722-1999金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法废止1999-04-111999-12-01
GB/T 41535-2022气溶胶光学厚度遥感产品真实性检验现行2022-07-112023-02-01
GB/T 20724-2021微束分析 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法现行2021-12-312022-07-01
GB/T 14847-2025重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法即将实施2025-10-312026-05-01
GB/T 17722-2026微束分析 金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法即将实施2026-01-282026-08-01
GB/T 47182-2026微束分析 分析电子显微术 核壳颗粒壳壁厚度的测量方法即将实施2026-02-272026-09-01
T/QGCML 2347-2023页岩孔隙吸附层厚度检测装置现行2023-11-272023-12-12
T/CISA 235-2022钢板和钢带全板厚度精度评价指标及计算方法现行2022-07-082022-08-01
T/CWAN 0060-2022大厚度铝合金窄间隙激光填丝焊接推荐工艺规范现行2022-05-242022-07-01
T/CCCTA 0054-2024输变电设备腐蚀锈层厚度检测方法现行2024-07-302024-08-30
T/DASIV 001-2024核工程用大厚度P91钢管焊条电弧焊焊接工艺规范现行2024-05-142024-05-14
T/CWAN 0061-2022大厚度高 强钢窄间隙激光填丝焊接推荐工艺规范现行2022-09-142022-11-01
T/CISA 221-2022汽车用冷轧纵向变厚度钢板现行2022-07-082022-08-01
T/CISA 218-2022建筑结构用热轧纵向变厚度钢板现行2022-07-082022-08-01
T/CISA 217-2022桥梁用热轧纵向变厚度钢板现行2022-07-082022-08-01
T/CISA 216-2022船舶用热轧纵向变厚度钢板现行2022-07-082025-08-01
T/CSTM 00556.2-2022地坪工程现场验收检测方法 第2部分:厚度的测定现行2022-03-242022-06-24