微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS

GB/T 42897-2023推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-03-03
格式:pdf

GB/T 42897-2023 相似标准 第5页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 40913-2021玻璃瓶罐热端涂层厚度的测定方法现行2021-11-262022-06-01
GB/T 22520-2008厚度指示表现行2008-11-122009-05-01
TY/T2003.2-2021运动面层性能测试方法 第2部分:厚度现行2021-07-082022-01-01
GB/T 11374-2012热喷涂涂层厚度的无损测量方法现行2012-09-032013-03-01
GB/T 13744-1992磁性和非磁性基体上镍电镀层厚度的测量现行1992-11-041993-08-01
QX/T 69-2024气溶胶光学厚度 太阳光度计法现行2024-08-162024-12-01
GB/T 8758-2006砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法现行2006-07-182006-11-01
GB/T 4957-2003非磁性基体金属上非导电覆盖层 覆盖层厚度测量 涡流法废止2003-10-292004-05-01
GB/T 23886-2009珍珠珠层厚度测定方法 光学相干层析法现行2009-06-012010-01-01
GB/T 6618-2009硅片厚度和总厚度变化测试方法现行2009-10-302010-06-01
GB/T 25451-2010重水堆核电厂燃料元件涂层厚度测量β射线背散射法现行2010-11-102011-05-01
GB/T 2951.11-2008电缆和光缆绝缘和护套材料通用试验方法 第11部分:通用试验方法厚度和外形尺寸测量 机械性能试验现行2008-06-262009-04-01
GB/T 328.5-2007建筑防水卷材试验方法 第5部分:高分子防水卷材 厚度、单位面积质量现行2007-03-262007-10-01
GB/T 20018-2005金属与非金属覆盖层 覆盖层厚度测量 β射线背散射法现行2005-10-122006-04-01
GB/T 16921-2005金属覆盖层 覆盖层厚度测量 X射线光谱法现行2005-10-122006-04-01
GB/T 4955-2005金属覆盖层 覆盖层厚度测量 阳极溶解库仑法现行2005-10-122006-04-01
GB/T 8014.3-2005铝及铝合金阳极氧化 氧化膜厚度的测量方法 第3部分:分光束显微镜法现行2005-07-042005-12-01
GB/T 8014.2-2005铝及铝合金阳极氧化 氧化膜厚度的测量方法 第2部分:质量损失法现行2005-07-042005-12-01