微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS

GB/T 42897-2023推荐性国家标准

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GB/T 42897-2023 相似标准 第3页

更新时间 2026-10-25
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