首页/GB/T 42897-2023 相似标准

微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS

GB/T 42897-2023推荐性国家标准

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上传时间：2026-03-03
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GB/T 42897-2023 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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T/COS 014-2023二氧化硅基气凝胶灭火剂现行2023-04-102023-04-10
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T/FSI 051-20201,2-二（三氯硅基）乙烷现行2020-04-302020-05-30
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T/FSI 051-20201,2-二（三氯硅基）乙烷现行2020-04-302020-05-30
T/CSPSTC 25-2019硅基薄膜光伏组件光致衰减测试方法现行2019-08-282019-11-15
T/FSI 063-2021N-[3-(三甲氧基硅基）丙基]正丁胺现行2021-03-012021-04-01
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SJ/T 12074-2025光通信用硅基光电子芯片晶圆级测试方法现行2025-12-192026-07-01
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