| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| JC/T 2133-2012 | 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2013-06-01 | 相似 |
| GB/T 40738-2021 | 熔模铸造 硅溶胶快速制壳工艺规范 | 现行 | 2022-05-01 | 相似 |
| HG/T 2521-2022 | 工业硅溶胶 | 现行 | 2023-04-01 | 相似 |
| T/CQPRA 0086-2026 | 超高纯纳米二氧化硅溶胶 | 现行 | 2026-03-05 | —— |
| T/CFA 020202072-2019 | 熔模铸造用工业硅溶胶 | 现行 | 2019-10-01 | —— |
| T/CISIA 0003-2021 | 工业硅溶胶 | 现行 | 2021-07-25 | —— |
| YB/T 4438-2014 | 硅溶胶结合系列灌注料 | 现行 | 2015-04-01 | 相似 |
| HG/T 2521-2008 | 工业硅溶胶 | 废止 | 2008-10-01 | 相似 |
| HG/T 2521-1993 | 工业硅溶胶 | 废止 | 1994-07-01 | 相似 |
| T/CFA 020202072-2019 | 熔模铸造用工业硅溶胶 | 现行 | 2019-10-01 | —— |
| T/CFA 0106013-2024 | 熔模铸造硅溶胶涂料性能检测方法 | 现行 | 2024-10-08 | —— |
| T/GDACERCU 0016.2-2021 | 废酸综合利用技术规范 第2部分：再生抛光液 | 现行 | 2021-01-06 | —— |
| T/GDACERCU 0016.2-2021 | 废酸综合利用技术规范 第2部分：再生抛光液 | 现行 | 2021-01-06 | —— |
| XB/T 534-2026 | 稀土抛光液 | 即将实施 | 2027-02-01 | 相似 |
| GB/T 26070-2010 | 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法 | 现行 | 2011-10-01 | 相似 |
| GB/T 47927-2026 | 半导体芯片化学机械抛光垫修整用金刚石盘 | 即将实施 | 2027-02-01 | 相似 |
| GB/T 28276-2012 | 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范 | 现行 | 2012-12-01 | 相似 |
| EJ/T 296.2-2014 | 尿中微量铀的测定 紫外光液体荧光法 | 现行 | 相似 |