半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法

Test method for resistivity of semiconductor wafers and sheet resistance of semiconductor films—Noncontact eddy-current gauge

GB/T 6616-2023推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
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GB/T 22586-2008高温超导薄膜微波表面电阻测试废止2008-12-152009-05-01
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