半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法

Test method for resistivity of semiconductor wafers and sheet resistance of semiconductor films—Noncontact eddy-current gauge

GB/T 6616-2023推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-02-24
格式:pdf

GB/T 6616-2023 相似标准 第9页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
JB/T 8133.2-1995电碳制品物理化学性能试验方法 电阻率废止1996-04-141996-04-14
SY/T 5385-1991岩石电阻率参数实验室测量及计算方法废止1991-07-191991-02-01
JB/T 8133.2-1999电碳制品物理化学性能试验方法 电阻率废止1999-08-062000-01-01
JB/T 9437-1999静电复印干式显影剂载体电阻率试验方法废止1999-08-062000-01-01
DB13/T 5537-2022向列相热致液晶单体电阻率的测定 直流电压法废止2022-02-282022-03-31
DB13/T 5026.3-2019石墨烯导电浆料物理性质的测定方法 第3部分:浆料极片电阻率的测定 四探针法废止2019-07-042019-08-01
GB/T 5167-1985烧结金属材料和硬质合金电阻率的测定废止1985-05-081986-02-01
GB/T 16427-1996粉尘层电阻率测定方法废止1996-06-041997-04-01
GB/T 19289-2003电工钢片(带)的密度、电阻率和叠装系数的测量方法废止2003-09-122004-04-01
GB/T 1410-2006固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法废止2006-02-152006-06-01
GB/T 10581-2006绝缘材料在高温下电阻和电阻率的试验方法废止2006-02-152006-06-01
GB/T 3781.9-2006乙炔炭黑 第9部分:电阻率的测定废止2006-08-012007-01-01
GB/T 1551-2009硅单晶电阻率测定方法废止2009-10-302010-06-01
GB/T 24521-2009焦炭电阻率测定方法废止2009-10-302010-05-01
GB/T 12476.9-2010可燃性粉尘环境用电气设备 第9部分:试验方法 粉尘层电阻率的测定方法废止2010-08-092011-08-01
KA/T 781-1998高分辨自动地电阻率仪通用技术条件现行1998-11-101999-04-01
JC/T 3073-2026混凝土电阻率测试方法即将实施2026-07-152027-02-01
GB/T 1672-1988液体增塑剂体积电阻率的测定现行1988-02-231988-10-01