半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法

Test method for resistivity of semiconductor wafers and sheet resistance of semiconductor films—Noncontact eddy-current gauge

GB/T 6616-2023推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-02-24
格式:pdf

GB/T 6616-2023 相似标准 第8页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
YS/T 963-2014煅后石油焦粉末电阻率测定仪现行2014-10-142015-04-01
SJ/T 11627-2016太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法现行2016-04-052016-09-01
SJ/T 11488-2015半绝缘砷化镓电阻率、霍尔系数和迁移率测试方法现行2015-04-302015-10-01
DZ/T 0276.16-2015岩石物理力学性质试验规程 第16部分:岩石体积电阻率和表面电阻率试验现行2015-02-042015-04-01
JJF 2230-2025混凝土电阻率测试仪校准规范现行2025-03-272025-09-27
JJF 1760-2019硅单晶电阻率标准样片校准规范现行2019-09-272020-03-27
GB/T 3781.9-2019乙炔炭黑 第9部分:电阻率的测定废止2019-08-302020-07-01
SY/T 5385-2007岩石电阻率参数实验室测量及计算方法废止2007-10-082008-03-01
YS/T 63.2-2006铝用碳素材料检测方法 第2部分:阴极炭块和预焙阳极 室温电阻率的测定废止2006-03-072006-08-01
SY/T 6908-2012感应电阻率随钻测井仪废止2012-08-232012-12-01
SY/T 6844-2011微电阻率成像测井仪废止2011-07-282011-11-01
SY/T 6823-2011过套管电阻率测井资料处理与解释规范废止2011-07-282011-11-01
YS/T 602-2007区熔锗锭电阻率测试方法 两探针法废止2007-11-142008-05-01
SY/T 6712-2008岩样复电阻率实验室测量方法废止2008-06-162008-12-01
JB/T 6773-1993金属石墨制品电阻率试验方法废止1993-08-211993-10-01
SY/T 6974-2013随钻电磁波电阻率测井仪废止2013-11-282014-04-01
SY/T 6063-1994埋地钢质管道防腐绝层电阻率现场测量技术规定废止1995-01-181995-07-01
YS/T 64-1993铝电解用炭素制品电阻率测定方法废止1993-03-171994-04-01