| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 47097-2026 | 氮化铝单晶抛光片 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 47080-2026 | 金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 26070-2010 | 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法 | 现行 | 2011-01-10 | 2011-10-01 |
| GB/T 41325-2022 | 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| GB/T 20167-2012 | 稀土抛光粉物理性能测试方法 抛蚀量和划痕的测定 重量法 | 现行 | 2012-11-05 | 2013-05-01 |
| GB/T 19921-2018 | 硅抛光片表面颗粒测试方法 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-07-01 |
| GB/T 47082-2026 | 碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 30656-2023 | 碳化硅单晶抛光片 | 现行 | 2023-03-17 | 2023-10-01 |
| GB/T 35305-2026 | 太阳能电池用砷化镓单晶及抛光片 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 29506-2013 | 300mm 硅单晶抛光片 | 现行 | 2013-05-09 | 2014-02-01 |
| GB/T 30858-2025 | 蓝宝石单晶衬底抛光片 | 即将实施 | 2025-10-31 | 2026-05-01 |
| T/ACREI 34001-2017 | 盖板玻璃抛光用稀土抛光粉 | 现行 | 2017-04-14 | 1900-01-01 |
| T/NBEA 001-2018 | 铝化学抛光专用酸 | 现行 | 2018-10-31 | 2018-12-01 |
| T/ZZB 3231-2023 | 湿式防爆抛光除尘机 | 现行 | 2023-10-10 | 2023-11-01 |
| T/NXCL 29-2024 | 300 mm低氧含量直拉硅单晶抛光片 | 现行 | 2024-02-06 | 2024-02-06 |
| T/WZSJD 2346-2024 | 伺服控制自动抛光机 | 现行 | 2024-07-20 | 2024-07-20 |
| T/FSS 98-2023 | 佛山标准 陶瓷瓷质砖抛光机 | 现行 | 2023-03-31 | 2023-03-31 |
| T/GDRA 011-2023 | 轻质合金压铸件机器人打磨抛光工作站 | 现行 | 2023-03-30 | 2023-03-30 |