| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/NXCL 004-2021 | 旋转硅靶材 | 现行 | 2021-11-11 | 2021-11-11 |
| T/NXCL 003-2021 | 平面硅锗靶材 | 现行 | 2021-11-11 | 2021-11-11 |
| T/CAS 304-2018 | 磁控溅射硅靶材及绑定靶材 | 现行 | 2018-05-29 | 2018-05-29 |
| YS/T 937-2025 | 镍铂靶材 | 即将实施 | 2025-12-17 | 2026-07-01 |
| XB/T 525-2026 | 高纯金属镱靶材 | 即将实施 | 2026-04-15 | 2026-11-01 |
| YS/T 1851-2026 | 铂钴铬二氧化硅溅射靶材 | 即将实施 | 2026-04-15 | 2026-11-01 |
| JC/T 3028-2026 | 高纯石墨靶材 | 即将实施 | 2026-06-01 | 2026-12-01 |
| XB/T 530-2026 | 高纯金属镧靶材 | 即将实施 | 2026-07-15 | 2027-02-01 |
| XB/T 531-2026 | 铽/镝旋转靶材 | 即将实施 | 2026-07-15 | 2027-02-01 |
| XB/T 532-2026 | 钕铝合金靶材 | 即将实施 | 2026-07-15 | 2027-02-01 |