| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| JC/T 2201-2022 | 镀膜玻璃用靶材 | 现行 | 2022-09-30 | 2023-04-01 |
| GB/T 20510-2024 | 氧化铟锡靶材 | 现行 | 2024-09-29 | 2025-04-01 |
| YS/T 1158.3-2016 | 铜铟镓硒靶材化学分析方法 第3部分：铝、铁、镍、铬、锰、铅、 锌、镉、钴、钼、钡、镁量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2016-07-11 | 2017-01-01 |
| YS/T 1129-2016 | 钨钛合金靶材 | 现行 | 2016-07-11 | 2017-01-01 |
| YS/T 1158.2-2016 | 铜铟镓硒靶材化学分析方法 第2部分：硒量的测定 重量法 | 现行 | 2016-07-11 | 2017-01-01 |
| YS/T 1124-2016 | 磁性溅射靶材透磁率测试方法 | 现行 | 2016-07-11 | 2017-01-01 |
| YS/T 1158.1-2016 | 铜铟镓硒靶材化学分析方法 第1部分：镓量和铟量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2016-07-11 | 2017-01-01 |
| YS/T 1156-2016 | 铜铟镓硒靶材 | 现行 | 2016-07-11 | 2017-01-01 |
| GB/T 39159-2020 | 集成电路用高纯铜合金靶材 | 现行 | 2020-11-19 | 2021-10-01 |
| GB/T 39160-2020 | 薄膜太阳能电池用碲锌镉靶材 | 现行 | 2020-11-19 | 2021-10-01 |
| GB/T 23611-2023 | 金及金合金靶材 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 29658-2013 | 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材 | 现行 | 2013-09-06 | 2014-05-01 |
| GB/T 38389-2019 | 氧化铟锡靶材化学分析方法 | 现行 | 2019-12-31 | 2020-11-01 |
| GB/T 43603.2-2024 | 镍铂靶材合金化学分析方法 第2部分：镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、铜、锌、锆、银、钯、锡、钐、铅、硅含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-10-01 |
| T/CIET 722-2024 | 半导体用高纯溅射靶材 | 现行 | 2024-10-23 | 2024-10-23 |
| T/CSEA 26-2023 | 电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件 | 现行 | 2023-02-07 | 2023-03-01 |
| T/ZZB 0639-2018 | 氧化锌铝磁控溅射靶材 | 现行 | 2018-10-19 | 2018-11-01 |
| GB/T 20510-2024 | 氧化铟锡靶材（外文版EN） | 现行 | 2025-05-21 |