| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 45130-2025 | 氧化锌铝靶材（外文版EN） | 现行 | 2025-05-21 | |
| YS/T 1063-2015 | 钼靶材 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| YS/T 1220-2018 | 铬靶材 | 现行 | 2018-04-30 | 2018-09-01 |
| YS/T 1635-2023 | 镍铬合金靶材 | 现行 | 2023-12-20 | 2024-07-01 |
| YS/T 1025-2015 | 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| YS/T 1024-2015 | 溅射用钽靶材 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| YS/T 1053-2015 | 电子薄膜用高纯钴靶材 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| YS/T 1555-2022 | 铂钴铬硼合金溅射靶材 | 现行 | 2022-09-30 | 2023-04-01 |
| YS/T 1357-2020 | 磁记录用铬钽钛合金溅射靶材 | 现行 | 2020-12-09 | 2021-04-01 |
| YS/T 1616-2023 | 氧化铟锌靶材 | 现行 | 2023-12-20 | 2024-07-01 |
| YS/T 1235-2018 | 钼钛合金（MoTi）靶材 | 现行 | 2018-04-30 | 2018-09-01 |
| YS/T 1234-2018 | 铬钼合金（CrMo）靶材 | 现行 | 2018-04-30 | 2018-09-01 |
| XB/T 515-2020 | 钪铝合金靶材 | 现行 | 2020-12-09 | 2021-04-01 |
| JC/T 2201-2013 | 镀膜玻璃用靶材 | 废止 | 2013-11-12 | 2014-03-01 |
| DB45/T 2109-2019 | 铜铟镓硒太阳能光伏电池靶材中硒含量的测定 容量法 | 废止 | 2019-12-25 | 2020-01-30 |
| DB45/T 2108-2019 | 铜铟镓硒太阳能光伏电池靶材中镓含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 废止 | 2019-12-25 | 2020-01-30 |
| DB35/T 1873-2019 | 热喷涂旋转硅靶材通用技术条件 | 废止 | 2019-12-19 | 2020-03-19 |
| GB/T 20510-2006 | 氧化铟锡靶材 | 废止 | 2006-09-26 | 2007-02-01 |