| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 23611-2009 | 金靶材 | 废止 | 2009-04-15 | 2010-02-01 |
| GB/T 20510-2017 | 氧化铟锡靶材 | 废止 | 2017-10-14 | 2018-05-01 |
| T/CSRE 19001-2020 | 金属镱靶材 | 现行 | 2020-11-20 | 2020-11-20 |
| T/ZZB 0639-2018 | 氧化锌铝磁控溅射靶材 | 现行 | 2018-10-19 | 2018-11-01 |
| T/CAS 304-2018 | 磁控溅射硅靶材及绑定靶材 | 现行 | 2018-05-29 | 2018-05-29 |
| T/ZZB 0093-2016 | 集成电路用高纯钛溅射靶材 | 现行 | 2016-09-10 | |
| YS/T 1711-2024 | 氧化铟锡靶材绑定技术规范 | 现行 | 2024-10-24 | 2025-05-01 |
| XB/T 524-2023 | 高纯金属钇靶材 | 现行 | 2023-12-20 | 2024-07-01 |
| XB/T 522-2023 | 稀土靶材回收料 | 现行 | 2023-12-20 | 2024-07-01 |
| YS/T 1811-2025 | 高纯钛铝合金靶材 | 现行 | 2025-08-19 | 2026-03-01 |
| YS/T 1683-2024 | 磁记录用铬钛合金溅射靶材 | 现行 | 2024-03-29 | 2024-10-01 |
| YS/T 1764-2025 | 锇靶材 | 现行 | 2025-04-10 | 2025-11-01 |
| YS/T 1780-2025 | 氧化铟镓锌靶材 | 现行 | 2025-04-10 | 2025-11-01 |
| YS/T 1776-2025 | 热敏打印用碳-碳化硅靶材 | 现行 | 2025-04-10 | 2025-11-01 |
| YS/T 1729-2025 | 钼合金靶材 | 现行 | 2025-04-10 | 2025-11-01 |
| YS/T 1725-2025 | 钒及钒合金靶材 | 现行 | 2025-04-10 | 2025-11-01 |
| XB/T 512-2020 | 镝、铽金属靶材 | 现行 | 2020-12-09 | 2021-04-01 |
| T/CSRE 19001-2020 | 金属镱靶材 | 现行 | 2020-11-20 | 2020-11-20 |