硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法

Thickness measurements for ultrathin silicon oxide layers on silicon wafers X-ray photoelectron spectroscopy

GB/T 25188-2010推荐性国家标准

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GB/T 25188-2010 相似标准 第14页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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