集成电路制造设备术语

Terminology for integrated circuit(IC)manufacturing equipment

GB/T 40577-2021推荐性国家标准

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上传时间:2026-02-09
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GB/T 40577-2021 相似标准 第15页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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