集成电路制造设备术语

Terminology for integrated circuit(IC)manufacturing equipment

GB/T 40577-2021推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2021-10-11

实施日期

2022-05-01

基础信息

标准号

GB/T 40577-2021

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

L95

国际标准分类号

31.220

标准层级

国家标准

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