精细陶瓷 平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜(晶圆)结晶质量

Fine ceramics—Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam

GB/T 47625-2026推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
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