| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 28855-2012 | 硅基压力传感器 | 现行 | 2012-11-05 | 2013-02-15 |
| GB/T 32815-2016 | 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-03-01 |
| GB/T 32816-2016 | 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-03-01 |
| GB/T 28277-2012 | 硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法 | 现行 | 2012-05-11 | 2012-12-01 |
| GB/T 42895-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2023-12-01 |
| GB/T 28275-2012 | 硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范 | 现行 | 2012-05-11 | 2012-12-01 |
| GB/T 42896-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2023-12-01 |
| T/CI 512-2024 | 硅基厚金属膜电镀工艺技术规范 | 现行 | 2024-09-18 | 2024-09-18 |
| T/GDEIIA 06-2023 | CF1101型硅基电容器技术规范 | 现行 | 2023-12-18 | 2023-12-18 |
| T/COS 014-2023 | 二氧化硅基气凝胶灭火剂 | 现行 | 2023-04-10 | 2023-04-10 |
| T/HIS 002-2022 | 硅基红外气体传感器 | 现行 | 2022-04-24 | 2022-05-25 |
| T/FSI 051-2020 | 1,2-二（三氯硅基）乙烷 | 现行 | 2020-04-30 | 2020-05-30 |
| T/CSPSTC 25-2019 | 硅基薄膜光伏组件光致衰减测试方法 | 现行 | 2019-08-28 | 2019-11-15 |
| T/FSI 051-2020 | 1,2-二（三氯硅基）乙烷 | 现行 | 2020-04-30 | 2020-05-30 |
| T/CSPSTC 25-2019 | 硅基薄膜光伏组件光致衰减测试方法 | 现行 | 2019-08-28 | 2019-11-15 |
| GB/T 47073-2026 | 表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| T/FSI 063-2021 | N-[3-(三甲氧基硅基）丙基]正丁胺 | 现行 | 2021-03-01 | 2021-04-01 |
| T/SHFIA 000021-2021 | 硅基防火保温板 | 现行 | 2021-03-05 | 2021-05-30 |