半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法

Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafers or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gauge

GB/T 6616-2009推荐性国家标准

废止

GB/T 6616-2009 相似标准 第9页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
GB/T 16427-1996粉尘层电阻率测定方法废止1997-04-01找相似
GB/T 19289-2003电工钢片(带)的密度、电阻率和叠装系数的测量方法废止2004-04-01找相似
GB/T 1410-2006固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法废止2006-06-01找相似
GB/T 10581-2006绝缘材料在高温下电阻和电阻率的试验方法废止2006-06-01找相似
GB/T 3781.9-2006乙炔炭黑 第9部分:电阻率的测定废止2007-01-01找相似
GB/T 1551-2009硅单晶电阻率测定方法废止2010-06-01找相似
GB/T 24521-2009焦炭电阻率测定方法废止2010-05-01找相似
GB/T 12476.9-2010可燃性粉尘环境用电气设备 第9部分:试验方法 粉尘层电阻率的测定方法废止2011-08-01找相似
KA/T 781-1998高分辨自动地电阻率仪通用技术条件现行1999-04-01找相似
JC/T 3073-2026混凝土电阻率测试方法即将实施2027-02-01找相似
GB/T 1672-1988液体增塑剂体积电阻率的测定现行1988-10-01找相似
GB/T 11297.7-1989锑化铟单晶电阻率及霍耳系数的测试方法现行1990-01-01找相似
T/CSTM 00252-2020碳纤维体积电阻率试验方法 四探针法现行2020-10-24——
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T/SBX 027-2019向列相热致液晶单体电阻率的测定 直流电压法现行2020-02-01——
YS/T 63.2-2023铝用炭素材料检测方法 第2部分:室温电阻率的测定现行2023-11-01找相似
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