Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| YS/T 28-2015 | 硅片包装 | 废止 | 2015-10-01 | 找相似 |
| YS/T 28-1992 | 硅片包装 | 废止 | 1993-01-01 | 找相似 |
| YS/T 26-1992 | 硅片边缘轮廓检验方法 | 废止 | 1993-01-01 | 找相似 |
| DB61/T 512-2011 | 太阳电池用单晶硅片检验规则 [陕西省] | 废止 | 2011-05-01 | 找相似 |
| GB/T 19444-2004 | 硅片氧沉淀特性的测定 间隙氧含量减少法 | 废止 | 2004-07-01 | 找相似 |
| GB/T 6616-2009 | 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法 | 废止 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 29055-2012 | 太阳电池用多晶硅片 | 废止 | 2013-10-01 | 找相似 |
| GB/T 32280-2015 | 硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法 | 废止 | 2017-01-01 | 找相似 |
| T/CPIA 0021-2020 | 绿色设计产品评价技术规范 光伏硅片 | 现行 | 2020-03-20 | —— |
| T/CPIA 0022-2020 | 光伏硅片制造业绿色工厂评价要求 | 现行 | 2020-03-20 | —— |
| T/ZZB 0594-2018 | 硅片用电镀金刚石切割线 | 现行 | 2018-10-31 | —— |
| YS/T 28-2024 | 硅片包装和标志 | 现行 | 2025-05-01 | 找相似 |
| DB31/ 792-2014 | 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额 [上海市] | 有更新版 | 2014-08-01 | 找相似 |
| T/SEPA 4-2022 | 局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术 第1部分：基于SOI硅片的工艺规范 | 现行 | 2023-02-01 | —— |
| T/ZZB 0594-2023 | 硅片用电镀金刚石切割线 | 现行 | 2023-11-01 | —— |
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