确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinatesystem

GB/T 16596-1996推荐性国家标准

废止

GB/T 16596-1996 相似标准 第7页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
GB/T 16857.13-2025产品几何技术规范(GPS) 坐标测量系统(CMS)的验收检测和复检检测 第13部分:光学三维坐标测量系统现行2025-09-01找相似
GB/T 34890-2017产品几何技术规范(GPS) 数字摄影三坐标测量系统的验收检测和复检检测现行2018-05-01找相似
T/SMA 0034-2023转站式坐标测量系统校准规范——基于靶标瞄准部分现行2023-04-30——
JJF 1064-2024坐标测量机校准规范现行2024-12-14找相似
DB34/T 3250-2018圆及圆弧几何量参数 三坐标测量技术规范 [安徽省]废止2019-01-29找相似
GB/T 16857.5-2004产品几何量技术规范(GPS) 坐标测量机的验收检测和复检检测 第5部分:使用多探针探测系统的坐标测量机废止2005-07-01找相似
GB/T 16857.2-2006产品几何技术规范(GPS) 坐标测量机的验收检测和复检检测 第2部分: 用于测量尺寸的坐标测量机废止2007-02-01找相似
JJF 1242-2010激光跟踪三维坐标测量系统校准规范现行2010-04-05找相似
JJF 1251-2010坐标定位测量系统校准规范现行2010-08-11找相似
JJF 1408-2013关节臂式坐标测量机校准规范现行2013-08-13找相似
JJF 1422-2013坐标测量球校准规范现行2013-10-04找相似
JB/T 15629.2-2026数控坐标磨床第2部分:技术规范即将实施2026-12-01找相似
DL/T 1061-2020光电式CCD垂线坐标仪现行2021-02-01找相似
GB/T 14660.1-2023数控立式坐标镗床 第1部分:精度检验现行2024-03-01找相似
GB/T 22542.1-2008大坝监测仪器 垂线坐标仪 第1部分:步进电机式垂线坐标仪现行2009-02-01找相似
GB/T 24981.1-2020稀土长余辉荧光粉试验方法 第1部分:发射主峰和色品坐标的测定现行2021-10-01找相似
GB/T 18400.8-2001加工中心 检验条件 第8部分:三个坐标平面上轮廓特性的评定现行2002-03-01找相似
GB/T 24759-2009柱坐标测量机现行2010-09-01找相似