确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinatesystem

GB/T 16596-1996推荐性国家标准

废止

GB/T 16596-1996 相似标准 第5页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
GB/T 5238-2009锗单晶和锗单晶片(外文版EN)废止——找相似
GB/T 32278-2015碳化硅单晶片平整度测试方法废止2017-01-01找相似
GB/T 30866-2014碳化硅单晶片直径测试方法废止2015-02-01找相似
GB/T 30867-2014碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法废止2015-02-01找相似
GB/T 30868-2014碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法废止2015-02-01找相似
GB/T 43894.3-2026半导体晶片近边缘几何形态评价 第3部分:扇形区域平整度法(ESFQR、ESFQD、ESBIR)即将实施2027-02-01找相似
GB/T 5238-2009锗单晶和锗单晶片废止2010-06-01找相似
DB12/T 101.251-2003工业产品取水定额 硅单晶片 [天津市]废止2003-09-03找相似
GB/T 47909-2026金刚石多晶片即将实施2027-02-01找相似
T/ZSA 38-2020SiC晶片的残余应力检测方法现行2020-12-18——
T/IAWBS 008-2019SiC晶片的残余应力检测方法现行2019-12-31——
T/IAWBS 011-2019导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法现行2019-12-31——
T/IAWBS 013-2019半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法现行2019-12-31——
T/CASAS 003-2018p沟道IGBT器件用4H碳化硅外延晶片现行2018-11-20——
T/WLJC 57-2019晶片精密研磨盘现行2019-04-22——
T/WLJC 58-2019晶片精密研磨盘用修正轮现行2019-04-22——
T/WLJC 59-2019石英晶片倒边波形筒现行2019-04-22——
T/ZZB 0497-2018声表面波器件用单晶晶片现行2018-09-30——