确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinatesystem

GB/T 16596-1996推荐性国家标准

废止

GB/T 16596-1996 相似标准 第3页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
GB/T 25188-2010硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法现行2011-08-01找相似
GB/T 43894.1-2024半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分:高度径向二阶导数法(ZDD)现行2024-11-01找相似
GB/T 26071-2018太阳能电池用硅单晶片废止2019-06-01找相似
GB/T 14140-2025半导体晶片直径测试方法现行2026-02-01找相似
GB/T 13387-2009硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法现行2010-06-01找相似
GB/T 44631-2024晶片承载器传输并行接口要求现行2025-04-01找相似
GB/T 6616-2023半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法现行2024-03-01找相似
GB/T 26066-2010硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法现行2011-10-01找相似
YS/T 27-1992晶片表面微粒沾污测量和计数的方法现行1993-01-01找相似
GB/T 32278-2025碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法现行2026-02-01找相似
GB/T 32988-2016人造石英光学低通滤波器晶片现行2017-09-01找相似
GB/T 5238-2019锗单晶和锗单晶片现行2020-05-01找相似
GB/T 26071-2026太阳能电池用硅单晶及硅单晶片即将实施2026-08-01找相似
GB/T 26070-2010化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法现行2011-10-01找相似
GB/T 30868-2025碳化硅单晶片微管密度测试方法现行2026-02-01找相似
GB/T 34481-2017低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法现行2018-07-01找相似
GB/T 24578-2024半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法现行2025-02-01找相似
GB/T 43894.2-2026半导体晶片近边缘几何形态评价 第2部分:边缘卷曲法(ROA)即将实施2026-08-01找相似