半导体晶片近边缘几何形态评价第1部分：高度径向二阶导数法（ZDD）

Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 1:Measured height data array using a curvature metric（ZDD）

GB/T 43894.1-2024 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2024-04-25

实施日期

2024-11-01

基础信息

标准号

GB/T 43894.1-2024

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

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