| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 26066-2010 | 硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法 | 现行 | 2011-01-10 | 2011-10-01 |
| T/CASAS 013-2021 | 碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法 | 现行 | 2021-11-01 | 2021-12-01 |
| T/IAWBS 021-2024 | 碳化硅晶片边缘轮廓检验方法 | 现行 | 2024-04-01 | 2024-04-09 |
| GB/T 25188-2010 | 硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法 | 现行 | 2010-09-26 | 2011-08-01 |
| T/CASAS 032-2023 | 碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2023-06-19 | 2023-06-19 |
| GB/T 1554-2009 | 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 34481-2017 | 低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法 | 现行 | 2017-10-14 | 2018-07-01 |
| GB/T 1557-2018 | 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 | 现行 | 2018-09-17 | 2019-06-01 |
| GB/T 14144-2009 | 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 1557-2006 | 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 | 废止 | 2006-07-18 | 2006-11-01 |
| GB/T 30868-2014 | 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法 | 废止 | 2014-07-24 | 2015-02-01 |
| GB/T 43612-2023 | 碳化硅晶体材料缺陷图谱 | 现行 | 2023-12-28 | 2024-07-01 |
| GB/T 37213-2018 | 硅晶锭尺寸的测定 激光法 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-11-01 |
| HG/T 6149-2023 | 加氢催化剂及其载体中二氧化硅晶相含量的测定 X射线衍射法 | 现行 | 2023-05-22 | 2023-11-01 |
| JB/T 14807-2025 | 电器用云母硅晶发热膜 | 现行 | 2025-05-09 | 2025-11-01 |
| GB/T 14140-2025 | 半导体晶片直径测试方法 | 现行 | 2025-08-01 | 2026-02-01 |
| GB/T 32278-2025 | 碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法 | 现行 | 2025-08-01 | 2026-02-01 |
| GB/T 26070-2010 | 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法 | 现行 | 2011-01-10 | 2011-10-01 |