硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法

practice for shallow etch pit detection on silicon

GB/T 26066-2010推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-03-02
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GB/T 26066-2010 相似标准 第4页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
T/WLJC 58-2019晶片精密研磨盘用修正轮现行2019-04-222019-04-22
T/WLJC 57-2019晶片精密研磨盘现行2019-04-222019-04-22
T/ZZB 0497-2018声表面波器件用单晶晶片现行2018-08-312018-09-30
YS/T 986-2014晶片正面系列字母数字标志规范现行2014-10-142015-04-01
SJ/T 11492-2015光致发光法测定磷镓砷晶片的组分现行2015-04-302015-10-01
GZB 6-08-02-05压电石英晶片加工工现行2003-02-082003-02-08
GB/T 5238-2009锗单晶和锗单晶片(外文版EN)废止2018-06-07
GB/T 43894.3-2026半导体晶片近边缘几何形态评价 第3部分:扇形区域平整度法(ESFQR、ESFQD、ESBIR)即将实施2026-07-022027-02-01
GB/T 16596-1996确定晶片坐标系规范废止1996-11-041997-04-01
GB/T 16595-1996晶片通用网格规范废止1996-11-041997-04-01
GB/T 5238-2009锗单晶和锗单晶片废止2009-10-302010-06-01
DB12/T 101.251-2003工业产品取水定额 硅单晶片废止2003-09-032003-09-03
GB/T 47909-2026金刚石多晶片即将实施2026-07-022027-02-01
T/CASAS 003-2018p沟道IGBT器件用4H碳化硅外延晶片现行2018-11-202018-11-20
T/WLJC 57-2019晶片精密研磨盘现行2019-04-222019-04-22
T/WLJC 58-2019晶片精密研磨盘用修正轮现行2019-04-222019-04-22
T/WLJC 59-2019石英晶片倒边波形筒现行2019-04-222019-04-22
T/ZZB 0497-2018声表面波器件用单晶晶片现行2018-08-312018-09-30