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碳化硅单晶片微管密度测试方法

Test method for micropipe density of monocrystalline silicon carbide

GB/T 30868-2025推荐性国家标准

现行

上传时间：2026-03-14
格式：pdf

GB/T 30868-2025 相似标准 第1页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 30868-2025碳化硅单晶片微管密度测试方法现行2025-08-012026-02-01
GB/T 30868-2014碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法废止2014-07-242015-02-01
T/IAWBS 012-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法现行2019-12-272019-12-31
T/IAWBS 010-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法现行2019-12-272019-12-31
GB/T 31351-2014碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法废止2014-12-312015-09-01
T/IAWBS 010-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法现行2019-12-272019-12-31
T/IAWBS 012-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法现行2019-12-272019-12-31
GB/T 43313-2023碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法现行2023-11-272024-06-01
GB/T 32278-2025碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法现行2025-08-012026-02-01
T/IAWBS 016-2022碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法现行2022-03-172022-03-24
T/IAWBS 013-2019半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法现行2019-12-272019-12-31
T/IAWBS 011-2019导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法现行2019-12-272019-12-31
GB/T 32278-2015碳化硅单晶片平整度测试方法废止2015-12-102017-01-01
GB/T 30866-2014碳化硅单晶片直径测试方法废止2014-07-242015-02-01
GB/T 30867-2014碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法废止2014-07-242015-02-01
T/IAWBS 011-2019导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法现行2019-12-272019-12-31
T/IAWBS 013-2019半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法现行2019-12-272019-12-31
T/CASAS 013-2021碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法现行2021-11-012021-12-01