确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinatesystem

GB/T 16596-1996推荐性国家标准

废止

GB/T 16596-1996 相似标准 第4页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
T/CASAS 003-2018p沟道IGBT器件用4H碳化硅外延晶片现行2018-11-20——
T/ZSA 38-2020SiC晶片的残余应力检测方法现行2020-12-18——
T/ZSA 231-2024氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法现行2024-05-16——
T/CASAS 032-2023碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法现行2023-06-19——
T/IAWBS 016-2022碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法现行2022-03-24——
T/CASAS 013-2021碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法现行2021-12-01——
T/IAWBS 015-2021氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法现行2021-09-22——
T/IAWBS 013-2019半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法现行2019-12-31——
T/IAWBS 011-2019导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法现行2019-12-31——
T/IAWBS 008-2019SiC晶片的残余应力检测方法现行2019-12-31——
T/WLJC 59-2019石英晶片倒边波形筒现行2019-04-22——
T/WLJC 58-2019晶片精密研磨盘用修正轮现行2019-04-22——
T/WLJC 57-2019晶片精密研磨盘现行2019-04-22——
T/ZZB 0497-2018声表面波器件用单晶晶片现行2018-09-30——
SJ/T 11497-2015砷化镓晶片热稳定性的试验方法现行2015-10-01找相似
SJ/T 11487-2015半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法现行2015-10-01找相似
SJ/T 11492-2015光致发光法测定磷镓砷晶片的组分现行2015-10-01找相似
GZB 6-08-02-05压电石英晶片加工工现行2003-02-08找相似